一、数字集成电路测试设备量值溯源技术研究（论文文献综述）
梁景然[1]（2021）在《超短基线定位声呐测试装置设计与实现》文中研究说明
邓清文[2]（2021）在《混合集成电路测试仪自动校准系统设计与实现》文中进行了进一步梳理随着集成电路（integrated circuit,IC）行业的发展,自动测试设备（automatic test equipment,ATE）市场对集成电路测试仪的需求量越来越大。集成电路测试仪作为一种专业的测试仪器设备,其校准技术也亟待发展。集成电路测试仪的测试参数种类丰富,需要定期对其进行全面的校准,以保证各项参数的指标都能达到测试使用要求。本文设计的混合集成电路测试仪自动校准系统提供512个数字测试通道、32个模拟测试通道和8个电源测试通道,通过硬件控制与神经网络算法的配合完成对混合集成电路测试仪的全自动校准。本文从以下四个方面深入展开研究:1、根据参数特点设计参数测量与校准方法。混合集成电路测试仪的待校准参数包括12类直流参数和4类交流参数。除了数字通道间同步和电源测试模块的参数,其余参数的校准均采用“先校准输出,再校准输入”的方式,即先利用外接测量仪器对测试通道输出信号进行校准,再利用已经完成校准的信号实现测试通道输入信号的校准。2、根据校准方案设计硬件系统。硬件系统设计主要包括校准板结构及接口设计、继电器阵列及其控制电路设计、数字通道同步校准电路设计和本地通信总线设计。校准板作为整个硬件系统的核心部分,通过上位机下发的控制命令,既可以实现任意继电器的切换,满足测试仪的输入和输出信号的测量需求,也可以通过ARM对测量数据进行在线处理,实现校准系数的预测。3、针对混合集成电路测试仪设计自动校准流程。为了使得校准系统具备速度快、精度高的特点,需要在校准速度和测量精度之间作一个衡量,合理设计自动校准流程,包括总体校准流程、参数校准顺序和具体测试通道校准顺序。4、研究基于径向基函数（Radial Basis Function,RBF）神经网络算法的集成电路校准技术并实现其工程应用。通过MATLAB仿真,比较反向传播（Back Propagation,BP）神经网络和RBF神经网络在测试和验证阶段具有的不同性能,确定将RBF算法应用于混合集成电路测试仪的自动校准系统。详细阐述了RBF算法的工程应用,包括RBF算法的实现过程、数据管理和校准系统软件操作步骤。将自动校准系统应用于混合集成电路测试仪,测试结果满足指标要求,说明本文设计的混合集成电路测试仪自动校准系统具备可行性和应用价值。
李明明,赵彦飞,刘思嘉,何忠名,刘开,于望[3]（2020）在《一款国产SoC器件模拟部分测试技术研究》文中研究表明为能够对某国产SoC器件的性能指标进行精确评估,需要为该电路提供完整的测试解决方案;基于此款SoC器件模拟部分的结构分布和功能描述,通过合理分配测试机台的硬件资源、测试向量自动转换软件和手工编写的结合使用、灵活应用转化器测试技术和模拟开关测试技术等手段,实现在电路系统控制下对国产SoC模拟部分即A/D转化器和模拟开关的完整测试和准确评估,从而为国产SoC器件在模拟部分的设计改进和性能提升提供了有力的技术保障。
王婧[4]（2020）在《伪随机动态测试信号建模与智能电能表动态误差测试方法》文中研究说明进入21世纪,为解决能源与环境间的矛盾,能源的供给侧与需求侧发生了重大变革,我国《十三五规划纲要》中明确提出“深入推进能源革命,着力推动能源生产利用方式变革”。经过多年的技术创新与应用,落实习近平总书记提出的“创新、协调、绿色、开放、共享”五大发展理念,我国能源生产与利用方式在发生重大变化的同时,也为电能的准确计量带来了挑战。电网供给侧可再生新型能源大规模发电,其输出功率具有较强的不确定性、间歇性和随机波动性。需求侧大功率非线性动态负荷的广泛应用,导致负荷电流表现出复杂的快速随机动态波动特性,进而引起电能表电能计量严重超差。根据国家能源局统计数据,2019年,我国以非线性动态负荷使用为主的工业用电量占全社会用电量的67.1%,因而,由动态负荷信号快速随机波动所导致的电能计量1%的误差就可能造成几十亿元的经济损失。目前,国内外缺少对快速随机波动条件下智能电能表动态误差的测试理论与技术。本文以上述国家战略实施中存在的问题为导向,发现并提炼出智能电能表动态误差测试的科学问题,研究探索电能表动态误差测试的理论和方法,形成了原创性的研究成果,主要包括:（1）研究分析电网中实际动态负荷信号的典型本质特性,在此基础上,针对现有的电能表误差测试信号模型无法反映实际动态负荷信号快速随机波动特性的问题,建立了一种新的畸变波形m序列伪随机动态测试信号结构化参数模型,并研究了此类信号的产生方法,所提出的测试信号模型满足电能表动态误差测试信号建模的要求,为开展智能电能表动态误差测试提供了有效的解决方法。（2）为提高智能电能表动态误差的测试效率,根据压缩感知理论中的测量矩阵线性编码调制理论,采用结构化方法,构建正交伪随机测量矩阵,通过矩阵映射产生正交伪随机幅度调制函数,建立畸变波形正交伪随机动态测试信号模型。使其在反映实际电网中动态负荷典型本质特性的同时具备紧凑性,提高了电能表动态误差的测试效率。解决了压缩感知理论在工程领域应用的难题。（3）针对国内外电参量测量领域广泛使用的窗函数卷积算法在快速随机动态条件下测量准确度明显降低的问题。基于压缩检测信号处理理论,分析离散畸变波形伪随机动态瞬时功率测试信号的频域稀疏性,通过构建最小误差有功功率检测滤波器,提出了动态电能量值准确测量的非交叠移动压缩检测（Nonoverlapping moving compressive measurement,NOLM-CM）算法,在仿真与实验条件下,验证了 NOLM-CM算法具有更高的准确度。为智能电能表在快速随机动态条件下的电能量值准确测量提供指导。（4）针对智能电能表动态误差测试,在所提出的两类畸变波形伪随机动态测试信号模型的基础上,定义测试信号的游程似然函数,建立智能电能表动态误差的似然函数间接测试方法,解决了从动态参考电能量值到稳态参考电能量值的溯源问题。其次,搭建智能电能表动态误差测试系统,实验验证了本文所建立的畸变波形伪随机动态测试信号和电能表动态误差似然函数间接测试方法的有效性,且测量不确定度显着降低。本文从理论研究到仿真分析,再到实验验证,形成了智能电能表动态误差测试的完整理论体系,解决了测试关键技术,研究成果对保证快速随机动态波动条件下电能的准确计量与公平交易,促进电能替代绿色发展与创新发展,具有重要意义和广阔的应用前景。
吴晓媛[5]（2020）在《基于保角变换的微小电容标准建模与设计》文中研究说明随着纳米技术与微电子行业的快速发展,元器件的小型化已是重要的发展趋势。电容作为三大基本阻抗元件之一,是电学信号传递的重要参数。实现精准便捷式亚pF及其量级以下的微小电容标准,不仅有助于实现硬件系统的小型化和高度集成化,也满足了在交流阻抗测量领域对微小电容的量值溯源和测量的需求。本课题简述微小电容标准建立的研究背景及研究意义,借助于可编程电容器中各电容单元的线性关系,提出一种利用可编程电容器中微小电容单元实现微小电容标准的方法。基于此,给出一个利用施瓦兹克里斯托佛变换求解考虑电容边缘效应影响的实际电容值的算法,借助于有限元分析软件Ansoft Maxwell辅助指导微小电容单元的设计,最终实现微小电容标准。提出微小电容标准检测系统方案设计,给出一种基于单片机STM32F429的微小电容检测系统的硬件设计原理,借助于Multisim以及Tina辅助仿真指导硬件电路搭建。本课题的具体研究工作如下:（1）介绍微小电容标准的研究背景与研究意义,阐述其物理意义及工业价值。其次,分析国际上的发展现状,提出到目前为止实现微小电容标准的难点,并给出实现微小电容标准的思路。对于微小电容标准检测方案,与交流激励式电容-电压转化电路相结合,分析电路系统中存在的误差来源,为后期的设计提供指导意见。（2）给出微小电容标准建立的物理背景和理论分析,介绍可编程熔融石英电容器的工作原理,给出一种利用可编程电容器中微小电容单元实现微小电容标准的方法。对可编程电容中的电容单元建立解析模型,给出一种计算考虑电容边缘效的电容值计算算法,并介绍其数学背景,基于对微小电容单元的理论推导与研究,利用有限元分析软件Ansoft Maxwell仿真验证其正确性,最后结合实际生产所需,对机械模型做出优化改进。（3）提出一种微小电容标准检测系统的总体设计方案,给出其整体框架和理论基础,核心电路由STM32F407+AD630+AD9833构成,分为信号发生单元、信号采集单元、信号处理单元、以及电源单元四部分,在Multisim和Tina中做电路仿真,给出减小交流激励式电容-电压转换电路中寄生电容影响的方法;根据相敏检波原理,利用AD630借助模拟乘法器和低通滤波器实现模拟信号与载波信号的相互运算,得到直流电压;依据数字信号直接合成原理,利用DDS专用芯片AD9833直接合成参考信号和载波信号,并实现信号的幅值可调功能以满足对不同量级微小电容标准的检测。（4）总结所研究的工作以及进一步的展望,对于微小电容单元而言,完成了利用保角变换得到计算值并借助于Ansoft Maxwell仿真验证,保证了pF到fF级别任意电容值输出,但对于亚fF级别及其以下的电容仍得不到精确的电容值,还有待于进一步的研究。对于微小电容标准检测系统方案电路而言,完成了对相关硬件电路的设计,对所设计微小电容检测电路进行了相关仿真与实验,分析了硬件电路中存在缺点,即电路的整体功耗比较大,导致电路元件极容易发热易影响测量精度。
万以强[6]（2020）在《集成电路测试仪的校准设计与实现》文中指出随着越来越多的IC测试仪在集成电路行业被生产和使用,IC测试仪的校准工作也变得越来越不可或缺。为了确保IC测试仪的各项性能指标都能达到测试使用要求,保证IC测试仪上各测试模块的测量准确度,需要对IC测试仪进行全面的校准。论文主要任务是对IC测试仪各功能模块的各项参数的校准方法进行研究,提出具体的IC测试仪整体校准方案,设计相应的硬件电路并进行相关的校准调试工作以对校准方案进行全面的验证。具体的研究内容主要有以下几个方面:1、分析IC测试仪系统的特性及性能指标,明确校准目标,找出需要进行校准的功能模块标准参数,并确定这些被校准参数的规定指标;2、研究需要校准的参数的特点,根据具体的参数特性设计具有针对性的校准方案,并保证校准设计方案的可行性;3、根据IC测试仪校准方案的设计要求,完成IC测试仪校准硬件电路即校准板的设计,并具体分析校准板的设计过程;4、通过反复进行IC测试仪校准调试,验证校准方案的可行性并分析校准数据,进而完善校准设计方案以满足相关性能指标。
赵科佳,杨智君,吴昭春,冯志刚,李抵非,李博,高鸿莹[7]（2020）在《脉冲波形参数量值溯源体系的完善与发展》文中进行了进一步梳理简要介绍脉冲信号和脉冲波形参数的定义。按照源/表属性和精度等级分类介绍脉冲波形类仪器设备,概述国内外脉冲波形参数量值溯源情况。基于脉冲波形参数计量器具检定系统表,以脉冲信号的溯源过程为例,解释脉冲波形参数量值溯源体系,并简要介绍脉冲波形参数国家基准的发展情况及参数指标。详细论述脉冲波形参数量值溯源的关键技术。首先,说明低于10mV脉冲幅度高精度测量存在的问题,论述基于多点采样结合众数分析的技术方案,可有效减小脉冲幅度测量不确定度;其次,由宽带取样示波器瞬态响应量值溯源的难题引出"Nose-to-nose"（NTN）校准技术,说明其技术原理及基准应用概况,并提出其技术局限性;再次,由超快脉冲上升时间的量值溯源问题引出电光采样（EOS）测量技术,说明其技术原理及中国计量科学研究院的研制概况,并介绍时域波形测量国际比对的进展情况。最后,从第五代移动通信技术和高功率微波技术两个角度,展望脉冲波形参数量值溯源体系未来的发展趋势。
常力文[8]（2020）在《基于AVR与FPGA的时间检定仪的研制》文中进行了进一步梳理机械秒表、电子秒表、数字式电秒表、指针式电秒表、数字式毫秒仪这一类仪器统称为时间间隔测量仪器,应用于我国的时间频率计量领域,常用来产生、记录、测量、校准时间间隔信号。时间检定仪是能够根据被检时间间隔测量仪器的检定需求输出一种或多种标准时间间隔信号对其技术指标进行检定的仪器。近年来,随着时间间隔测量仪器的快速发展,市场上大多数依据旧的检定规程研制的时间检定仪已不能满足检定需求,因此研制新款的时间检定仪十分必要。本论文主要工作如下:（1）根据国家检定规程JJG237-2010《秒表检定规程》、JJG601-2003《时间检定仪检定规程》、JJG238-1995《数字式时间测量仪检定规程》分析了时间检定仪的技术要求,确定了时间检定仪的功能以及性能指标,制定了研制技术路线,提出了基于AVR与FPGA的时间检定仪系统总体设计方案。（2）基于时间检定仪电路系统的原理,采用AVR单片机设计了控制电路,采用恒温晶振、降压变压器以及迟滞比较器设计了时基电路。设计了高精度的时间间隔信号电路,针对指针式电秒表与时间检定仪时基不匹配带来的测量误差问题,采用同频率源方法,运用FPGA技术设计了具有自补偿功能的数字倍频器,仿真结果表明有效的减小了测量误差。针对市场上主流秒表夹具存在的问题,设计了一种组合式多功能的秒表夹具。（3）在分析时间检定仪软件功能的基础上,运用C语言设计了主程序、串口通信、扩展总线、参数设置以及显示控制等软件模块。同时运用SDW显示终端设计工具开发了仪器人机交互界面。（4）依据国家检定规程对时间检定仪进行了功能和性能测试,结果表明,本文设计的时间检定仪晶体振荡电路频率准确度优于5×10-9数量级、秒表测量误差达到1ms数量级、数字式毫秒仪电信号测量误差达到1μs数量级,满足实际的时间检定工作需求,与目前市场主流的时间检定仪产品对比,部分性能指标更优。
周峰[9]（2019）在《谐波电压比例标准关键技术研究》文中提出随着工业经济的发展,越来越多的非线性、大功率负荷接入电力系统。其中以大功率整流器件、冶金电弧炉工作时给系统带来的谐波影响最大,而近年来发展迅速的分布式能源,也由于大量使用整流器件,其上网电信号中也存在一定的谐波特性的分量。按照相关规程规定,高压电能计量设备如电压互感器是在50Hz条件下进行的量值溯源,其在谐波条件下的计量特性目前尚未正式纳入相关的考核。而现场实际测量发现,上述典型负荷现场电压波形中长期含有大量谐波分量,若按照国标GB/T 14549-1993《电能质量公用电网谐波》中的规定,对谐波的计量互感器只需满足5%的计量准确度即可,长期运行后,会造成极大的电能计量的误差,给供用电双方带来较大的经济损失。我国目前尚未建立电压互感器谐波条件下的计量标准,对互感器谐波计量特性的考核尚属空白。建立谐波电压互感器比例标准的最大困难是如何完成互感器的量值溯源,设计一套完善的谐波频率下的互感器溯源方法,从低电压开始逐渐完成到最高电压的电压比例确定。本文结合谐波条件下电压互感器量值溯源的需求,提出了谐波电压下互感器溯源方法,并研制了相应的标准设备,完成了 10kV,35kV电力电压互感器的谐波计量特性测试。具体工作介绍如下:1)提出了“递进式”谐波电压比例装置溯源方法,基于气体电容器构成的电容分压器设计了分压器与电磁式标准间相互标定,利用电容器电压系数进行过渡,逐渐将溯源电压提高的谐波电压互感器的量值溯源方法,完成最高至工频110kV/（?）电压下的谐波电压比例标准溯源。2)将工频下的电压加法溯源方法推广至谐波条件下的互感器量值溯源中,并完成了 10kV电磁式电压互感器的量值溯源,应用该方法完成“递进式”溯源方法的验证。3)提出了双通道数据切换方法,实现双通道采集过程中不同通道数据的相互切换采集,大大减小采集通道由于元器件、集成电路自身误差及偏移带来的测量误差,并进行了不同频率下的误差测量试验,结果表明应用了该技术的采集设备,测量误差优于 1×10-7。4)设计了基于基本反相器原理的有源电子式分压器,该分压器高压臂采用压缩气体电容器,低压臂采用双层陶瓷电容,基于基本反相器原理构成分压器,完成了电路的放大回路以及环路稳定性和误差计算等,并制作了 10kV和110kV/（?）有源电容式分压器。5)运用“递进式”法,完成了电磁式谐波电压比例标准和电容式有源电子分压器的量值溯源,电磁式谐波电压比例标准的测量准确度等级可达0.01级。6)完成了“递进式”法测量不确定度的评定,详细列举了溯源各环节不确定分量。在50Hz到2500Hz范围内,10kV电容分压器的测量不确定度分别在比差:5.6×10-6～84.2×10-6,角差:6μrad-55.2μrad,110kV/（?）电容分压器测量不确定度分别在比差:19×10-6～96.4×10-6,角差:20.2μrad-67.6μrad。7)基于所开发的谐波电压比例标准和误差校验设备,完成了 10kV、35kV电磁式电力电压互感器和35kV电力CVT的测量误差频率特性的测试,测试结果表明,电力系统用10kV电磁式电压互感器在对20次谐波以下的测量误差小于0.2%。最高50次谐波条件下,测量误差不大于5%。35kV电磁式互感器略差,10次谐波以下测量误差小于0.2%,50次谐波测量误差大于5%。而CVT则在偏离工作频率50Hz后,误差出现急剧变化,比差最大达到54.4%,而角差最大则达到了 5246.15’,并存在谐振现象,不能用于谐波的测量。
孟凡娇[10]（2019）在《微纳米膜厚标准样片的制备与表征》文中研究指明微纳米薄膜材料广泛应用在纳米制造、微电子、新材料、环境监测、超精密加工等领域。近年来,随着精密工程和微纳技术的快速发展,越来越多的微纳技术从研究转入到工业生产和应用,薄膜技术的广泛应用推动了薄膜测试技术的发展,本文基于薄膜厚度这一参数的计量需求,开展了微纳米膜厚标准样片研制、定标装置组建、标准样片定标测量分析以及膜厚量传溯源等问题的研究,主要涉及以下内容:首先,本文对比了国内外膜厚标准样片发展现状以及微纳薄膜结构的常用测量方法,根据椭圆偏振法的高精度、无接触、测量速度快等优点。采用光谱型椭偏仪组建微纳米膜厚标准样片的定标装置,对比MATLAB软件拟合椭偏仪测量的单点波长结果与VLSI标准样片测量结果,验证定标装置测量准确性;通过多家环式比对方式,验证标准装置的溯源性。其次,设计并研制一套用于微纳米薄膜厚度测量的多尺寸、高集成膜厚标准样片,包括有形状膜厚测量工作区A、物性膜厚测量工作区B以及设计图案标识区域C,可对不同测量原理的膜厚类测量仪器进行溯源、校准。然后,分析多种微纳米膜厚标准样片的热氧化工艺制备效果,选取干氧氧化法制备10 nm100 nm的二氧化硅薄膜;对于200 nm1000 nm的二氧化硅薄膜采用干氧氧化与湿氧氧化相结合的制备工艺,该方法既可以保证薄膜质量也可以降低薄膜生长时间;改进超薄薄膜2 nm10 nm制备工艺,采用快速热处理（RTP）方法进行超薄薄膜制备,并验证超薄薄膜的量值准确性;采用涂胶、曝光、显影、刻蚀、去胶等工艺制备膜厚标准样片台阶结构。最后,从加工工艺、保存环境以及其他外界影响因素分析,优化膜厚标准样片物理结构模型,建立理想化三相结构模型对研制的膜厚标准样片进行定标,从均匀性、稳定性以及重复性三方面进行考核。并从定标装置测量原理出发提出对测量仪器的参数校准方案,提高测量仪器的测量准确性。对研制的微纳米膜厚标准样片进行溯源性研究,针对标准样片不同测量区域的测量仪器,分别建立量值溯源体系。
二、数字集成电路测试设备量值溯源技术研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、数字集成电路测试设备量值溯源技术研究（论文提纲范文）
（2）混合集成电路测试仪自动校准系统设计与实现（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究工作的背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状和发展态势 |
| 1.3 本文主要内容与技术指标 |
| 1.4 本论文的结构安排 |
| 第二章 自动校准系统方案设计 |
| 2.1 自动校准系统总体方案设计 |
| 2.1.1 自动校准系统整体架构 |
| 2.1.2 参数测量方法分析 |
| 2.1.3 外接测量仪器选择 |
| 2.1.4 参数测量点的选择 |
| 2.2 测量误差补偿 |
| 2.2.1 测量误差分析 |
| 2.2.2 测量误差补偿方法 |
| 2.3 自动校准流程设计 |
| 2.3.1 总体校准流程设计 |
| 2.3.2 参数校准顺序 |
| 2.3.3 测试通道校准顺序 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 自动校准系统硬件设计与实现 |
| 3.1 校准板结构及其接口设计 |
| 3.1.1 校准板整体结构 |
| 3.1.2 校准板接口设计 |
| 3.2 继电器阵列及其控制电路设计 |
| 3.2.1 继电器阵列设计 |
| 3.2.2 继电器控制电路设计 |
| 3.3 数字通道同步校准设计 |
| 3.3.1 FPGA高速收发器原理与应用 |
| 3.3.2 数字通道同步校准原理与实现 |
| 3.4 FPGA与 ARM本地通信总线设计 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 校准算法设计与实现 |
| 4.1 基于神经网络算法的校准技术分析 |
| 4.1.1 基于BP神经网络算法的校准技术分析 |
| 4.1.2 基于RBF神经网络算法的校准技术分析 |
| 4.2 数据建模与仿真 |
| 4.2.1 直流信号数据建模与仿真 |
| 4.2.2 交流信号数据建模与仿真 |
| 4.3 基于神经网络算法的工程应用 |
| 4.3.1 基于RBF神经网络算法的工程应用 |
| 4.3.2 校准系统数据管理的实现 |
| 4.3.3 自动校准系统软件 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 测试与分析 |
| 5.1 基本功能与校准精度测试 |
| 5.1.1 基本功能测试 |
| 5.1.2 直流参数校准精度测试 |
| 5.1.3 交流参数校准精度测试 |
| 5.2 校准效率与建模精度测试 |
| 5.2.1 校准效率测试 |
| 5.2.2 建模精度测试 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 |
（3）一款国产SoC器件模拟部分测试技术研究（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 电路模拟部分介绍 |
| 2 自动测试系统资源的分配 |
| 3 测试向量的生成 |
| 4 测试技术的应用 |
| 4.1 A/D转换器测试技术的应用 |
| 4.2 模拟开关测试技术的应用 |
| 5 实验结果与分析 |
| 6 结束语 |
（4）伪随机动态测试信号建模与智能电能表动态误差测试方法（论文提纲范文）
| 学位论文数据集 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 符号说明 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题来源 |
| 1.2 论文研究的背景和意义 |
| 1.3 国内外研究现状 |
| 1.3.1 动态负荷典型特性的研究现状 |
| 1.3.2 电力系统负荷建模的研究现状 |
| 1.3.3 电能表误差测试的研究现状 |
| 1.3.4 压缩感知理论的研究现状 |
| 1.3.5 电参量测量算法的研究现状 |
| 1.4 现有研究成果的总结和不足 |
| 1.5 论文研究的主要内容 |
| 1.6 论文体系结构 |
| 第二章 大功率动态负荷信号典型本质特性分析 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 动态负荷概述 |
| 2.3 电气化铁路负荷信号的典型本质特性分析 |
| 2.3.1 宏观时间尺度电气化铁路负荷典型本质特性分析 |
| 2.3.2 微观时间尺度电气化铁路负荷典型本质特性分析 |
| 2.4 电弧炉负荷信号的典型本质特性分析 |
| 2.4.1 宏观时间尺度电弧炉负荷典型本质特性分析 |
| 2.4.2 微观时间尺度电弧炉负荷典型本质特性分析 |
| 2.5 大功率动态负荷信号典型本质特性的总结 |
| 2.6 小结 |
| 第三章 畸变波形m序列伪随机动态测试信号建模 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 现有的电能表误差测试信号模型 |
| 3.2.1 常用的测试信号 |
| 3.2.2 稳态测试信号模型 |
| 3.2.2.1 正弦稳态测试信号模型 |
| 3.2.2.2 非正弦稳态测试信号模型 |
| 3.2.3 动态测试信号模型 |
| 3.2.3.1 正弦包络调幅动态测试信号模型 |
| 3.2.3.2 梯形包络调幅动态测试信号模型 |
| 3.2.3.3 调频动态测试信号模型 |
| 3.2.3.4 调相动态测试信号模型 |
| 3.2.3.5 00K动态测试信号模型 |
| 3.3 动态负荷信号空间分解与动态测试信号空间构建 |
| 3.4 畸变波形m序列伪随机动态测试信号模型 |
| 3.4.1 m序列伪随机函数 |
| 3.4.2 畸变波形稳态周期函数 |
| 3.4.3 畸变波形m序列伪随机动态测试信号结构化参数模型 |
| 3.5 信号的产生验证与特性分析 |
| 3.5.1 动态测试信号的产生验证 |
| 3.5.2 动态测试信号的特性分析 |
| 3.6 小结 |
| 第四章 畸变波形正交伪随机动态测试信号建模 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 压缩感知理论概述 |
| 4.3 正交伪随机测量矩阵的构建 |
| 4.3.1 正交伪随机测量矩阵的组成 |
| 4.3.2 正交伪随机测量矩阵的结构化构建 |
| 4.4 畸变波形正交伪随机动态测试信号模型 |
| 4.4.1 正交伪随机序列函数 |
| 4.4.2 畸变波形稳态周期函数 |
| 4.4.3 畸变波形正交伪随机动态测试信号结构化参数模型 |
| 4.5 信号的产生验证与特性分析 |
| 4.5.1 动态测试信号的产生方法 |
| 4.5.2 动态测试信号的特性分析 |
| 4.6 小结 |
| 第五章 动态电能量值的非交叠移动压缩检测算法 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 电能表的功率电能测量原理 |
| 5.3 动态电能量值的NOLM-CM算法 |
| 5.3.1 有功功率压缩检测模型 |
| 5.3.1.1 离散畸变波形m序列伪随机动态瞬时功率测试信号的稀疏性分析 |
| 5.3.1.2 最小误差测量矩阵的构建 |
| 5.3.2 动态电能量值测量的NOLM-CM算法 |
| 5.4 NOLM-CM算法的仿真与实验验证 |
| 5.4.1 常用的窗函数电能量值测量算法 |
| 5.4.2 NOLM-CM算法的仿真验证 |
| 5.4.2.1 不同动态瞬时功率测试信号条件下的仿真验证 |
| 5.4.2.2 NOLM-CM算法与窗函数算法的对比分析 |
| 5.4.3 NOLM-CM算法的实验验证 |
| 5.5 小结 |
| 第六章 智能电能表动态误差的似然函数间接测试方法 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 智能电能表动态误差的似然函数间接测试算法 |
| 6.2.1 畸变波形伪随机动态功率测试信号的游程似然函数 |
| 6.2.2 动态误差的似然函数间接测试算法 |
| 6.3 智能电能表动态误差的似然函数间接测试系统 |
| 6.4 智能电能表动态误差测试实验 |
| 6.4.1 畸变波形伪随机动态测试信号产生的实验验证 |
| 6.4.2 智能电能表的动态误差测试实验结果 |
| 6.4.2.1 不同模式的动态测试信号条件下电能表动态误差测试结果 |
| 6.4.2.2 不同功率因数的动态测试信号条件下电能表动态误差测试结果 |
| 6.4.2.3 不同被测电能表的动态误差测试结果 |
| 6.4.3 电能表动态误差似然函数间接测试系统的不确定度评估 |
| 6.4.3.1 P_k~m(t)条件下的不确定度评估 |
| 6.4.3.2 p_k~(OPRM)(t)条件下的不确定度评估 |
| 6.5 小结 |
| 第七章 结论和展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 攻博期间完成的论文和取得的科研成果 |
| 作者简介 |
| 导师简介 |
| 附件 |
（5）基于保角变换的微小电容标准建模与设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 微小电容标准的研究意义 |
| 1.1.1 是三大基本电学阻抗元件的重要组成部分 |
| 1.1.2 是实现量值溯源的重要传递量 |
| 1.2 微小电容实际电容值求解现状 |
| 1.2.1 非理想情况下求解电容值方法 |
| 1.2.2 实现微小电容标准的方法设计 |
| 1.3 可编程电容器中微小电容单元测量方案的实现 |
| 1.3.1 微小电容检测电路方案分析 |
| 1.3.2 采用交流激励转化方式实现微小电容检测 |
| 1.4 本课题主要的研究内容 |
| 第二章 微小电容标准理论分析与结构设计 |
| 2.1 微小电容单元理论分析 |
| 2.1.1 圆盘式平行板电容器分析 |
| 2.1.2 利用Kelvin等电位保护电极方式实现微小电容标准模型 |
| 2.2 可编程熔融石英电容器 |
| 2.2.1 利用保角变换求解杂散电容值 |
| 2.2.2 利用保角变换求解主电极电容值 |
| 2.3 利用有限元分析法仿真微小电容模型 |
| 2.3.1 利用保角变换求解主电极电容值 |
| 2.3.2 基于可编程熔融石英电容器实现微小电容单元标准 |
| 2.4 实现可编程电容中微小电容单元的方法 |
| 2.4.1 可编程电容机械设计方案 |
| 2.4.2 可编程电容软件设计方案 |
| 第三章 可编程电容器微小电容检测系统总体方案设计 |
| 3.1 微小电容测微系统整体方案 |
| 3.2 交流激励式电容电压转换电路研究 |
| 3.2.1 电容电压转换电路外部干扰消除 |
| 3.2.2 电容电压转换电路线路噪声消除 |
| 3.3 信号解调单元研究 |
| 3.3.1 电容电压转换电路线路噪声消除 |
| 3.3.2 同步检波原理 |
| 3.4 幅值相位频率可调的DDS信号源研究 |
| 3.4.1 信号实现方式方法比较 |
| 3.4.2 信号源的自动增益控制实现研究 |
| 3.5 电缆屏蔽技术研究 |
| 第四章 微小电容检测系统的硬件实现 |
| 4.1 微小电容标准硬件电路整体框架搭建 |
| 4.2 流激励式电容电压转换单元 |
| 4.2.1 信号源的自动增益控制实现研究 |
| 4.3 信号解调单元实现 |
| 4.3.1 相敏检波单元设计实现 |
| 4.3.2 低通滤波器设计 |
| 4.4 高精度DDS信号源电路设计 |
| 4.4.1 基于AD9833的双路信号发生电路设计 |
| 4.4.2 VCA8222组成的自动增益控制电路设计实现 |
| 4.5 PCB布板 |
| 4.5.1 PCB设计原则 |
| 4.5.2 电容测微系统PCB设计 |
| 第五章 实验分析及总结 |
| 5.1 模块性能测试 |
| 5.1.1 相敏解调模块 |
| 5.1.2 DDS信号源模块 |
| 5.1.3 VCA822模块测试 |
| 5.2 可编程电容器微小电容测量系统测试 |
| 5.2.1 电容分辨率测试 |
| 5.2.2 线性度测试 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间的研究成果 |
| 致谢 |
（6）集成电路测试仪的校准设计与实现（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 本课题的主要内容和组织结构 |
| 第二章 集成电路测试仪及其校准 |
| 2.1 集成电路测试仪 |
| 2.1.1 IC测试仪的硬件结构 |
| 2.1.2 IC测试仪上位机软件 |
| 2.1.3 IC测试仪工作流程 |
| 2.2 集成电路测试仪的校准 |
| 2.2.1 测量校准原理 |
| 2.2.2 IC测试仪校准的特点 |
| 2.2.3 IC测试仪校准参数分析 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 集成电路测试仪校准方案设计 |
| 3.1 校准方案设计 |
| 3.1.1 被校准参数测量 |
| 3.1.2 测量参数的误差修正 |
| 3.1.3 校准测试点的选取 |
| 3.1.4 校准仪器的选择 |
| 3.1.5 总体校准方案 |
| 3.2 校准流程 |
| 3.2.1 直流参数的总体校准流程 |
| 3.2.2 数字通道同步延迟的总体校准流程 |
| 3.3 本章小结 |
| 第四章 集成电路测试仪校准板设计 |
| 4.1 校准板设计要求 |
| 4.2 校准板设计 |
| 4.2.1 校准板接口设计 |
| 4.2.2 数字通道选择 |
| 4.2.3 DPS校准电路 |
| 4.2.4 数字通道信号走线 |
| 4.3 校准板整体结构 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 集成电路测试仪校准调试 |
| 5.1 直流参数校准调试 |
| 5.1.1 PPMU校准与PE校准 |
| 5.1.2 DPS校准 |
| 5.2 数字通道同步延迟校准调试 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
（7）脉冲波形参数量值溯源体系的完善与发展（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 脉冲波形参数量值溯源体系 |
| 1.1 量值溯源体系 |
| 1.2 脉冲波形参数国家基准 |
| 2 脉冲波形参数量值溯源关键技术 |
| 2.1 脉冲幅度的高精度测量技术 |
| 2.2 宽带取样示波器瞬态响应自校准技术 |
| 2.3 基于电光采样原理的超快脉冲测量技术 |
| 3 未来发展的方向 |
（8）基于AVR与FPGA的时间检定仪的研制（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 论文研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 论文主要贡献与创新点 |
| 1.4 本文主要内容和章节安排 |
| 第2章 时间检定仪系统总体设计 |
| 2.1 系统需求分析 |
| 2.1.1 作为标准仪器的需求分析 |
| 2.1.2 作为被检仪器的需求分析 |
| 2.2 系统设计方案 |
| 2.3 技术路线 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 系统硬件设计 |
| 3.1 控制电路 |
| 3.1.1 单片机电路 |
| 3.1.2 人机交互电路 |
| 3.2 时基电路 |
| 3.2.1 恒温晶振时钟电路 |
| 3.2.2 市电信号处理电路 |
| 3.3 时间间隔信号电路 |
| 3.3.1 检定功能状态机 |
| 3.3.2 市电时基倍频电路 |
| 3.3.3 时间信号产生电路 |
| 3.3.4 驱动接口电路 |
| 3.4 电源电路 |
| 3.5 秒表夹具 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 系统软件开发 |
| 4.1 功能设计及开发环境 |
| 4.2 主控制程序 |
| 4.2.1 主程序模块 |
| 4.2.2 串口通信模块 |
| 4.2.3 扩展总线模块 |
| 4.2.4 参数设置模块 |
| 4.2.5 显示控制模块 |
| 4.3 用户界面设计 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 系统测试与分析 |
| 5.1 时间检定仪样机集成 |
| 5.2 系统测试 |
| 5.2.1 测试条件 |
| 5.2.2 恒温晶体振荡器测试 |
| 5.2.3 秒表检定模块测试 |
| 5.2.4 毫秒仪检定模块测试 |
| 5.2.5 数字式电秒表检定模块测试 |
| 5.2.6 指针式电秒表检定模块测试 |
| 5.3 仪器对比分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 结论 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间取得学术成果 |
| 附录 |
（9）谐波电压比例标准关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 问题的提出 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 存在的问题 |
| 1.4 论文的主要工作与章节安排 |
| 2 谐波电压比例量值溯源方法研究 |
| 2.1 “递进式”谐波电压比例标准溯源方法 |
| 2.2 基于分压器电压系数的误差计算方法 |
| 2.3 “递进式”溯源方法数学模型 |
| 2.4 气体电容器的频率特性 |
| 2.5 感应分压器自校准测试方法 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 宽频校验仪的双通道切换采样方法研究 |
| 3.1 数字化仪模块简介 |
| 3.2 测量互感器误差原理 |
| 3.3 通道切换采样误差计算数学模型 |
| 3.4 通道切换采样方法的可行性验证 |
| 3.5 通道切换采样原理设计 |
| 3.6 误差测试 |
| 3.7 本章小结 |
| 4 谐波电压比例标准装置研制 |
| 4.1 有源电容分压器原理 |
| 4.2 有源电容分压器研制 |
| 4.3 有源电容分压器性能测试 |
| 4.4 感应分压器设计 |
| 4.5 10kV电磁式电压互感器 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 谐波电压比例标准溯源结果及比对 |
| 5.1 感应分压器自校准测量结果 |
| 5.2 电容器电压系数测量结果 |
| 5.3 “递进式”法试验测试结果 |
| 5.4 “递进式”法溯源不确定度评定 |
| 5.5 “递进式”溯源方法比对试验 |
| 5.6 本章小结 |
| 6 电力电压互感器误差频率特性测量 |
| 6.1 电磁式电压互感器 |
| 6.2 电容式电压互感器(CVT) |
| 6.3 本章小结 |
| 7 全文总结与展望 |
| 7.1 全文总结 |
| 7.2 需进一步开展的工作 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录A 测试结果 |
| 附录B “递进式”法溯源不确定度评定 |
| 读博期间参加项目及获得成果 |
（10）微纳米膜厚标准样片的制备与表征（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题研究背景和意义 |
| 1.2 微纳米薄膜测量技术国内外研究现状及发展趋势 |
| 1.2.1 微纳米膜厚标准物质研究现状 |
| 1.2.2 微纳米薄膜厚度多种测量方法 |
| 1.2.3 几种常用测量方法的比较 |
| 1.3 本文主要研究内容 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 |
| 1.3.2 论文体系结构 |
| 2 膜厚标准样片定标装置组建及测量原理 |
| 2.1 本章引论 |
| 2.2 椭偏仪的分类 |
| 2.3 椭偏仪测量系统组成 |
| 2.3.1 FLS-300 光源系统 |
| 2.3.2 样品台及调整系统 |
| 2.3.3 探测系统 |
| 2.4 椭圆偏振法测量原理 |
| 2.4.1 光在介质薄膜上的反射 |
| 2.4.2 光在薄膜表面反射偏振态变化 |
| 2.4.3 反射系数比与椭偏参数 |
| 2.4.4 椭偏分析 |
| 2.5 膜厚标准样片定标装置组建 |
| 2.5.1 膜厚标准样片定标装置验证 |
| 2.5.2 膜厚标准样片定标装置溯源 |
| 2.6 椭偏仪测量模型的建立 |
| 2.6.1 结构模型的建立 |
| 2.6.2 色散模型的建立 |
| 2.6.3 模型参数的相关性 |
| 2.7 椭偏仪的数据分析 |
| 2.8 本章小结 |
| 3 膜厚标准样片的设计与制备 |
| 3.1 本章引论 |
| 3.2 微纳米膜厚标准样片的设计 |
| 3.2.1 微纳米膜厚标准样片类型及尺寸 |
| 3.2.2 微纳米膜厚标准样片的图形设计 |
| 3.3 微纳米膜厚标准样片的对比性 |
| 3.3.1 膜厚的定义 |
| 3.3.2 物性膜厚与形状膜厚的对比分析 |
| 3.4 微纳米膜厚标准样片的制备 |
| 3.4.1 衬底材料准备及清洗 |
| 3.4.2 10nm~1000 nm膜厚标准样片的氧化工艺 |
| 3.4.3 超薄薄膜2 nm~10 nm膜厚标准样片的氧化工艺 |
| 3.5 膜厚标准样片台阶结构的制备工艺 |
| 3.5.1 光刻工艺 |
| 3.5.2 刻蚀工艺 |
| 3.5.3 去胶工艺 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 膜厚标准样片测量及不确定度分析 |
| 4.1 本章引论 |
| 4.2 模型的选择与优化 |
| 4.2.1 分析微纳米膜厚标准样片结构建模 |
| 4.2.2 应用不同结构模型的测量分析 |
| 4.3 膜厚准样片的测量与评价 |
| 4.3.1 膜厚标准样片的均匀性 |
| 4.3.2 膜厚标准样片的重复性 |
| 4.3.3 膜厚标准样片的稳定性 |
| 4.4 测量结果的不确定分析 |
| 4.4.1 模型误差 |
| 4.4.2 测量仪器误差 |
| 4.4.3 测量重复性 |
| 4.4.4 样片均匀性 |
| 4.4.5 合成不确定度 |
| 4.4.6 扩展不确定度 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 仪器参数校准及膜厚溯源性分析 |
| 5.1 本章引论 |
| 5.2 基于量值溯源体系的仪器校准方案 |
| 5.2.1 光源波长 |
| 5.2.2 入射角度 |
| 5.2.3 定标仪器的校准方案 |
| 5.2.4 定标仪器的量值溯源体系 |
| 5.3 微纳米薄膜结构量值溯源的计量需求 |
| 5.4 微纳米薄膜厚度量值溯源 |
| 5.4.1 计量型原子力显微镜测量微纳米薄膜厚度 |
| 5.4.2 基于光谱椭偏仪多台比对的溯源方法 |
| 5.5 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 创新点 |
| 6.3 工作展望及计划 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
四、数字集成电路测试设备量值溯源技术研究（论文参考文献）
- [1]超短基线定位声呐测试装置设计与实现[D]. 梁景然. 哈尔滨工程大学, 2021
- [2]混合集成电路测试仪自动校准系统设计与实现[D]. 邓清文. 电子科技大学, 2021(01)
- [3]一款国产SoC器件模拟部分测试技术研究[J]. 李明明,赵彦飞,刘思嘉,何忠名,刘开,于望. 计算机测量与控制, 2020(09)
- [4]伪随机动态测试信号建模与智能电能表动态误差测试方法[D]. 王婧. 北京化工大学, 2020
- [5]基于保角变换的微小电容标准建模与设计[D]. 吴晓媛. 青岛大学, 2020(01)
- [6]集成电路测试仪的校准设计与实现[D]. 万以强. 电子科技大学, 2020(07)
- [7]脉冲波形参数量值溯源体系的完善与发展[J]. 赵科佳,杨智君,吴昭春,冯志刚,李抵非,李博,高鸿莹. 计量技术, 2020(05)
- [8]基于AVR与FPGA的时间检定仪的研制[D]. 常力文. 成都理工大学, 2020(04)
- [9]谐波电压比例标准关键技术研究[D]. 周峰. 华中科技大学, 2019(03)
- [10]微纳米膜厚标准样片的制备与表征[D]. 孟凡娇. 中国计量大学, 2019(02)